潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn)
1、潔凈室空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同,它首先對(duì)控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導(dǎo)體器件廠房內(nèi),在硅襯底上只要落有電路線寬1/10~1/3大小的塵埃,就可能導(dǎo)致芯片電路短路。另外,潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對(duì)潔凈度要求較高外,還對(duì)溫度、濕度、震動(dòng)、噪音等都有不同程度要求。
2、潔凈室與潔凈廠房能源消耗比其他的建筑大得多,其運(yùn)行費(fèi)約是一般辦公樓的10(1萬級(jí))~30(100級(jí))倍。就空調(diào)冷負(fù)荷而言,一般辦公大樓為120W/m左右,一般潔凈室為300~800w/m,而大規(guī)模半導(dǎo)體器件廠房可以達(dá)到1400~1600w/m。
同時(shí),由于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝的特點(diǎn),要求潔凈廠房內(nèi)全天(24h)保持相應(yīng)的潔凈度,目此,潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風(fēng)系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應(yīng)的輸送系統(tǒng)需每天24 h運(yùn)行,這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。
3、送風(fēng)量大。一般辦公大樓換氣次數(shù)為10次/h左右,一般潔凈室換氣次數(shù)可選為:100級(jí)按室內(nèi)平均風(fēng)速0.2~0.5m/s來計(jì)算,1000級(jí)按50~60次/h計(jì)算,10000級(jí)按15~25次/h計(jì)算,100000按10~15次/h;而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房內(nèi),為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求,需要保證很高的換氣次數(shù),致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400 次/h,10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到40次/h,100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30次/h。
4、新風(fēng)負(fù)荷大。在電子廠房中,某些車間散發(fā)出有害氣體,需要通過排風(fēng)加以消除,這就加大了系統(tǒng)的新風(fēng)量。潔凈室的各類制冷負(fù)荷中,最重要的有新風(fēng)、風(fēng)機(jī)溫升和設(shè)備散熱3項(xiàng),而尤以新風(fēng)最大。根據(jù)有關(guān)部門統(tǒng)計(jì),新風(fēng)負(fù)荷可以從20%~70%,風(fēng)機(jī)溫升從8%~20%多,工藝設(shè)備可以從16%~50%。
5、風(fēng)機(jī)全壓高。由于凈化空調(diào)中過濾器很多,其中僅高效過濾器的初阻力就在200Pa以上,終阻力在400 Pa以上;而要求高的車間阻力會(huì)更大。其新風(fēng)要求三級(jí)(初、中、高效)過濾。這些都會(huì)致使所用風(fēng)機(jī)靜壓很高,導(dǎo)致風(fēng)機(jī)耗能增加。另外,工藝設(shè)備的發(fā)熱情況隨不同的生產(chǎn)工藝不同而不同,有些工藝設(shè)備是高發(fā)熱設(shè)備,就需要較多冷負(fù)荷來抵消。總之,潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)具有排風(fēng)量大、送風(fēng)量大、工藝設(shè)備發(fā)熱量大、阻力大和風(fēng)機(jī)靜壓高的特點(diǎn),這些共同造就了潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的高耗能。
二、潔凈室的原理
所謂潔凈室,國內(nèi)一般指對(duì)空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓、新風(fēng)量等項(xiàng)參數(shù),根據(jù)需要實(shí)行控制的密閉性較好的空間,該空間的各項(xiàng)空氣參數(shù)均滿足“潔凈室級(jí)別”的規(guī)定。
1、空氣潔凈度等級(jí)(國內(nèi)):
等級(jí) | 每立方米(每升)空氣中≥0.5um塵粒數(shù) | 每立方米(每升)空氣中≥5um塵粒數(shù) |
100級(jí) | ≤35x100(3.5) | |
1000級(jí) | ≤35x1000(35) | ≤250(0.25) |
10000級(jí) | ≤35x10000(350) | ≤2500(2.5) |
100000級(jí) | ≤35x100000(3500) | ≤25000(25) |
2、潔凈度:指潔凈室空氣環(huán)境中空氣含塵量多少的程度。含塵濃度高則潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高。
3、溫、濕度:首先應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,當(dāng)生產(chǎn)工藝對(duì)溫、濕度無要求時(shí),潔凈室的溫度為20~26℃,相對(duì)濕度小于70%;人員凈化用房間和生活間溫度16~28℃。
4、正壓值:指門關(guān)閉狀態(tài)下,室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的數(shù)值。不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差,應(yīng)不不于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差,就不小于10Pa。潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差,并按生產(chǎn)工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。
5、新風(fēng)量:潔凈室內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量,其數(shù)值應(yīng)取下列風(fēng)量中的最大值:(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m。
三、潔凈室的分類:
潔凈室按用途分兩大類:工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。
1、工業(yè)潔凈室以無生命微粒(非生物微粒)的控制為對(duì)象,主要控制無生命微粒對(duì)工作對(duì)象的污染,內(nèi)部保持正壓,它適用于精密工業(yè)、電子工業(yè)、宇航工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、印刷工業(yè)、照相工業(yè)等;
2、 生物潔凈室,以有生命微粒(生物微粒)的控制為對(duì)象,又可分為:
、一般生物潔凈室,主要控制有生命微粒對(duì)工作對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能以受各種滅菌劑的侵蝕,內(nèi)部保一般保持正壓。可用于食品工業(yè)(防止變質(zhì)、生霉)、制藥工業(yè)(高純度、無菌制劑)、醫(yī)療設(shè)施(手術(shù)室、各種制劑室、調(diào)劑室、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)設(shè)施(無菌動(dòng)物飼養(yǎng)和實(shí)驗(yàn))、實(shí)驗(yàn)設(shè)施(理化、潔凈實(shí)驗(yàn)室)。
、生物學(xué)安全潔凈室,主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染,內(nèi)部保持負(fù)壓。用于實(shí)驗(yàn)設(shè)施(細(xì)菌學(xué)生物學(xué)潔凈實(shí)驗(yàn)室)、生物工程(重組基因、疫苗制備)。
四、潔凈室設(shè)計(jì)前的準(zhǔn)備工作和應(yīng)收集的有關(guān)數(shù)據(jù)資料(業(yè)務(wù)員要求使用方提供的資料)
1、該項(xiàng)目建廠地區(qū)的氣象資料、周圍大氣污染的環(huán)境狀況。(了解該項(xiàng)目在
哪個(gè)地區(qū),周圍有什么建筑?)
2、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件
和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料:
①、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單,以及工藝對(duì)吊頂高
度的要求。(如果工藝平面需要我們?cè)O(shè)計(jì),要問清楚生產(chǎn)工藝流程怎樣?需要多
少間潔凈室,每個(gè)房間面積多大)
②、工藝對(duì)潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對(duì)濕度及精度、正壓、振動(dòng)、
噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求,越具體越好。(要了解潔凈室內(nèi)要求潔凈度是
多少級(jí)?對(duì)溫濕度、壓差(正壓或負(fù)壓)有什么要求?)
③、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設(shè)備的安裝功率、
效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時(shí)使用系數(shù)等。(要求使用方提供設(shè)備的詳細(xì)參數(shù),功率、
外形尺寸等)
④、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和
廢氣排放量以及廢氣治理方法。(了解潔凈室內(nèi)的設(shè)備(如實(shí)驗(yàn)臺(tái)、邊臺(tái)、潔凈
工作臺(tái)、通風(fēng)柜、生物安全柜)有沒有需要排氣以及廢氣治理方法)
⑤、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運(yùn)行的班次、運(yùn)行規(guī)律、生產(chǎn)的最大班人數(shù)。(潔凈室內(nèi)
有多少人在工作)
3、潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)。
①、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名
稱、層高。(要求使用方提供電子版建筑圖、水電以及原有空調(diào)圖等)
②、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)(墻、地、頂、門、窗等)的建筑材料以及其熱工性能。
(潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)用哪種材料?哪個(gè)地方需要開門窗)
③、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力,尤其是舊建筑的改造項(xiàng)目結(jié)構(gòu)的安全
十分重要。(大型設(shè)備擺放的位置結(jié)構(gòu)的承載能力能否滿足,空調(diào)機(jī)(室內(nèi)和室外機(jī))的安裝位置)
4、向設(shè)計(jì)人員提供使用方聯(lián)系方式,以便溝通。
5、要了解使用方要我們?cè)O(shè)計(jì)和報(bào)價(jià)什么內(nèi)容?設(shè)計(jì)圖及報(bào)價(jià)能達(dá)到什么程度?
生物安全柜和超凈臺(tái)區(qū)別:
生物安全柜(Biological safety cabinets,BSCs)是為操作原代培養(yǎng)物、菌毒株以及診斷性標(biāo)本等具有感染性的實(shí)驗(yàn)材料時(shí),用來保護(hù)工作人員、實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及實(shí)驗(yàn)品,使其避免暴露于上述操作過程中可能產(chǎn)生的感染性氣溶膠和濺出物而設(shè)計(jì)的。WHO出版的《實(shí)驗(yàn)室生物安全手冊(cè)》中明確說明:“生物安全柜可以有效減少由于氣溶膠暴露所造成的實(shí)驗(yàn)室感染以及培養(yǎng)物交叉污染,生物安全柜同時(shí)也能保護(hù)工作環(huán)境”。當(dāng)然,安全柜有效工作的前提是選購合格的安全柜和正確使用安全柜。目前市場上生物安全柜種類繁多,本文介紹了實(shí)驗(yàn)室生物安全標(biāo)準(zhǔn)、安全柜分類、認(rèn)證的基本知識(shí),旨在為采購人員在選購生物安全柜工作中提供參考。
生物安全柜的選擇最基本取決于生物試驗(yàn)中所使用的試驗(yàn)品類型:
1、如果生物試驗(yàn)中只涉及微生物樣品,可以使用基本類型的生物安全柜;
2、如果生物試驗(yàn)中涉及了微生物樣品和微量化學(xué)試劑(非腐蝕性),使用裝備外排管道的安全柜是必要的。因?yàn)镠EPA過濾器并不能有效過濾清除化學(xué)氣體,如果不能外排,將對(duì)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)工作人員和環(huán)境造成威脅;
3、如果生物試驗(yàn)中涉及了細(xì)胞毒素類藥物,例如各類癌癥治療藥物,必須使用的細(xì)胞 毒素安全柜。
另外,需要明確了解生物安全柜與通風(fēng)柜/超凈工作臺(tái)的區(qū)分。通風(fēng)柜和超凈工作臺(tái)不屬于生物安全柜,不可使用在涉及微生物材料的實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)過程中。
通風(fēng)柜(通風(fēng)櫥)是為在化學(xué)實(shí)驗(yàn)過程中清除腐蝕性化學(xué)氣體和有毒煙霧而設(shè)計(jì)的。由于沒有裝備HEPA過濾器,通風(fēng)柜不能有效清除微生物介質(zhì)。放置在通風(fēng)柜內(nèi)微生物樣品會(huì)散播到柜外,污染實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
超凈工作臺(tái)(超凈臺(tái))是為了保護(hù)試驗(yàn)品或產(chǎn)品而設(shè)計(jì)的,通過吹過工作區(qū)域的垂直或水平層流空氣防止試驗(yàn)品或產(chǎn)品受到工作區(qū)域外粉塵或細(xì)菌的污染。一旦微生物樣品放置于工作區(qū)域,層流空氣將把帶有微生物介質(zhì)的空氣吹向前臺(tái)工作人員而產(chǎn)生危險(xiǎn)。
通風(fēng)柜(通風(fēng)櫥)是為在化學(xué)實(shí)驗(yàn)過程中清除腐蝕性化學(xué)氣體和有毒煙霧而設(shè)計(jì)的。由于沒有裝備HEPA過濾器,通風(fēng)柜不能有效清除微生物介質(zhì)。放置在通風(fēng)柜內(nèi)微生物樣品會(huì)散播到柜外,污染實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
超凈工作臺(tái)(超凈臺(tái))是為了保護(hù)試驗(yàn)品或產(chǎn)品而設(shè)計(jì)的,通過吹過工作區(qū)域的垂直或水平層流空氣防止試驗(yàn)品或產(chǎn)品受到工作區(qū)域外粉塵或細(xì)菌的污染。一旦微生物樣品放置于工作區(qū)域,層流空氣將把帶有微生物介質(zhì)的空氣吹向前臺(tái)工作人員而產(chǎn)生危險(xiǎn)。